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申请/专利权人：北京科技大学;天津工业大学
摘要：本发明公开了一种并发式MOF膜材料高通量生产设备，包括：静电发生器、储液单元、混液单元、薄膜生长室，以及位于所述薄膜生长室内的雾化喷涂单元和载物台；所述雾化喷涂单元通过一位移控制单元控制其移动，所述静电发生器向雾化喷涂单元输入交变电压；混液单元包括混液仓，用以将金属溶液和配体溶液混合形成MOF前驱体溶液；雾化喷涂单元包括雾化喷头，用以将MOF前驱体溶液喷涂在生长基体上。通过本发明，可以高通量地制备厚度可控的MOF膜，操作简单，易于制备，适用于大规模化的工业生产；且通过交变电场控制金属配体交替定向沉积，能够控制MOF膜的晶面生长取向，有利于实现更高的气体分离性能。
主权项：1.一种并发式MOF膜材料高通量生产设备，其特征在于，至少包括：静电发生器、储液单元、混液单元、薄膜生长室，以及位于所述薄膜生长室内的雾化喷涂单元和载物台；所述雾化喷涂单元通过一位移控制单元控制其移动，所述静电发生器向雾化喷涂单元输入交变电压；储液单元包括金属溶液仓和配体溶液仓，用以存储MOF膜材料合成所用的金属溶液及配体溶液；混液单元包括混液仓，用以将金属溶液和配体溶液混合形成MOF前驱体溶液；所述载物台用于装载生长基体；雾化喷涂单元包括雾化喷头，用以将MOF前驱体溶液喷涂在生长基体上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京科技大学 天津工业大学 一种并发式MOF膜材料高通量生产设备及生产方法
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