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申请/专利权人：乐山市京运通半导体材料有限公司
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉用热场保温装置，所述保温筒的上端面沿圆周方向上设置有延伸部，所述延伸部与上盖盘连接，且延伸部水平朝向保温筒内进行延伸，所述保温筒的上端面与延伸部之间设置有朝向保温筒内的缺口，且所述保温筒的上端面从保温筒内壁斜向上延伸至延伸块，使缺口在竖向方向上的相对距离逐渐减小，所述保温筒的上端面设置有第一排气口，第一排气口与保温筒内设置的第一排气管连接，所述下托盘下方设置有第二排气管，使所述第一排气管的出气端穿过下托盘与第二排气管的进气端连接，所述第二排气管的另一端连接真空泵进气口。
主权项：1.一种单晶炉用热场保温装置，包括上盖盘1和下托盘5，上盖盘1和下托盘5之间设置有坩埚2和加热器3，所述加热器3套设在干国外，其特征在于，还包括保温筒4，所述保温筒4套设在加热器3外，所述上盖盘1固定在保温筒4上端，所述下托盘5固定在保温筒4下端，所述加热器3和坩埚2的高度均低于保温筒4的高度；所述保温筒4的上端面沿圆周方向上设置有延伸部44，所述延伸部44与上盖盘1连接，且延伸部44水平朝向保温筒4内进行延伸，所述保温筒4的上端面与延伸部44之间设置有朝向保温筒4内的缺口，且所述保温筒4的上端面从保温筒4内壁斜向上延伸至延伸块，使缺口在竖向方向上的相对距离逐渐减小，所述保温筒4的上端面设置有第一排气口6，第一排气口6与保温筒4内设置的第一排气管9连接，所述下托盘5下方设置有第二排气管10，使所述第一排气管9的出气端穿过下托盘5与第二排气管10的进气端连接，所述第二排气管10的另一端连接真空泵11进气口。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 乐山市京运通半导体材料有限公司 一种单晶炉用热场保温装置
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