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申请/专利权人：镭神泰克科技(苏州)有限公司

摘要：本申请公开了一种晶圆打标装置及其打标方法，涉及晶圆打标技术领域。本申请包括工作台，工作台的上方设置有转盘，转盘的顶部呈环形阵列固定连接有若干个支撑块，支撑块的一侧固定连接有机械手，工作台的顶部固定连接有打标台，位于打标台一侧工作台的顶部固定连接有竖板，竖板的一侧滑动连接有激光打标装置，激光打标装置由激光器、扫描镜组、控制系统等组件组成，激光打标装置与打标台相适配，工作台的顶部固定连接有输送座，输送座的内部设置有输送皮带，转盘与工作台之间设置有下料机构，工作台的顶部设置有清理机构，通过启动旋转电机使得打标完成后的晶圆被输送皮带输送到下一道程序，减少了人为操作的时间，提高了生产效率。

主权项：1.一种晶圆打标装置，包括工作台（1），其特征在于：所述工作台（1）的上方设置有转盘（2），所述转盘（2）的顶部呈环形阵列固定连接有若干个支撑块（3），所述支撑块（3）的一侧固定连接有机械手（4），所述工作台（1）的顶部固定连接有打标台（5），位于所述打标台（5）一侧工作台（1）的顶部固定连接有竖板（6），所述竖板（6）的一侧滑动连接有激光打标装置（7），所述激光打标装置（7）与打标台（5）相适配，所述工作台（1）的顶部固定连接有输送座（30），所述输送座（30）的内部设置有输送皮带（31），所述转盘（2）与工作台（1）之间设置有下料机构，所述工作台（1）的顶部设置有清理机构，所述下料机构包括固定连接在工作台（1）内部的旋转电机（8），所述旋转电机（8）的输出端固定连接有正多边形块（9），所述转盘（2）的内部开设有正多边形槽，所述正多边形块（9）通过正多边形槽与转盘（2）滑动设置，所述工作台（1）的顶部呈环形阵列固定连接有若干个气缸（10），所述转盘（2）的底部开设有支撑槽（11），所述气缸（10）的输出端固定连接有滑块（12），所述滑块（12）与支撑槽（11）均设置为十字形，所述滑块（12）与支撑槽（11）滑动连接，所述清理机构包括固定连接在工作台（1）顶部的清理座（13），所述清理座（13）的一侧固定连接有连接块（14），所述连接块（14）的上方设置有吸气管，所述吸气管的一端贯穿连接块（14）并固定连接有进风罩（15），所述吸气管与进风罩（15）相连通，所述吸气管与连接块（14）固定连接，吸气管远离进风罩（15）的一端与吸尘装置的吸气端连接，所述清理座（13）的顶部设置有夹持件，所述夹持件包括开设在清理座（13）顶部两侧的长条孔（24），所述长条孔（24）的内部滑动连接有竖杆（23），两侧所述竖杆（23）互相靠近的一面固定连接有夹持块（25），两侧所述夹持块（25）设置为圆弧状，所述清理座（13）的内部开设有空槽（17），所述空槽（17）的内部设置有移动块（16），所述移动块（16）的顶端贯穿清理座（13），所述移动块（16）与清理座（13）滑动连接，所述移动块（16）的底部固定连接有驱动块一（18），所述驱动块一（18）的两侧开设有燕尾槽（19），所述驱动块一（18）的两侧设置有驱动块二（20），两个所述驱动块二（20）靠近驱动块一（18）的一面固定连接有燕尾块，所述燕尾块与燕尾槽（19）滑动连接，所述驱动块一（18）与驱动块二（20）的接触面设置为斜面，两侧所述驱动块二（20）的顶部与竖杆（23）的底端固定连接，所述驱动块二（20）的两侧固定连接有导向块（21），所述导向块（21）的内部滑动连接有导向杆（22），所述导向杆（22）远离驱动块一（18）的一端与空槽（17）的内壁固定连接，所述空槽（17）的内底壁固定连接有弹性件（26），所述弹性件（26）由伸缩杆与弹簧组成，所述弹性件（26）的顶端与驱动块一（18）固定连接，所述旋转电机（8）输出端的外表面套设有传动皮带（27），所述工作台（1）的顶部固定连接有传动座（28），所述传动座（28）的顶部转动连接有转动杆一（29），所述传动皮带（27）远离旋转电机（8）的一端套设在转动杆一（29）的外表面，所述转动杆一（29）的顶部固定连接有锥齿轮一（32），所述锥齿轮一（32）的顶部啮合连接有锥齿轮二（33），所述锥齿轮二（33）靠近输送座（30）的一面固定连接有转动杆二（34），所述转动杆二（34）靠近输送座（30）的一端贯穿输送座（30）并与输送皮带（31）的皮带轮固定连接，所述转动杆二（34）与输送座（30）转动连接。

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