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申请/专利权人：上海征世科技股份有限公司

摘要：本发明公开了一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备，涉及单晶金刚石制备技术领域，该生长设备包括进料仓与进料床，进料仓内上设置有进料盘，进料盘与进料仓滑动连接，进料盘上设置有升降架，升降架上设置有升降气缸，升降气缸输出端上设置有合成架，进料仓上设置有合成仓，合成仓上设置有合成管，合成管上设置有微波发生器，合成仓内设置有加压仓，加压仓内设置有控压组件，合成架上设置有托举台，托举台上设置有多个探针组，每个探针组分别与托举台滑动连接，合成仓底端设置有多个密封板，每个密封板分别与合成仓滑动连接，加压仓内设置有排气管，排气管与加压仓连通，本发明具有自动加压以原料气体均匀电离的功能。

主权项：1.一种附带原料气均匀电离功能的单晶金刚石生长设备，其特征在于：该生长设备包括进料仓（1）与进料床（2），所述进料仓（1）内上设置有进料盘（3），所述进料盘（3）与进料仓（1）滑动连接，所述进料盘（3）上设置有升降架（4），所述升降架（4）上设置有升降气缸（5），所述升降气缸（5）输出端上设置有合成架（6），所述进料仓（1）上设置有合成仓（7），所述合成仓（7）上设置有合成管（16），所述合成管（16）上设置有微波发生器（14），所述合成仓（7）内设置有加压仓（8），所述加压仓（8）内设置有控压组件（9），所述合成架（6）上设置有托举台（10），所述托举台（10）上设置有多个探针组（11），每个所述探针组（11）分别与托举台（10）滑动连接，所述合成仓（7）底端设置有多个密封板，每个所述密封板分别与合成仓（7）滑动连接，所述加压仓（8）内设置有排气管（13），所述排气管（13）与加压仓（8）连通；所述进料仓（1）内设置有除尘轨道（101），所述除尘轨道（101）内设置有进料电机（102），所述进料盘（3）底端设置有齿牙，所述进料电机（102）输出端与进料盘（3）上的齿牙啮合，所述除尘轨道（101）上设置有除尘风机（103），所述进料仓（1）设置有除尘板（104），所述除尘板（104）上设置有静电发生器，所述除尘轨道（101）底端设置有除尘风机（103），所述进料盘（3）上设置有多个除尘孔，每个所述除尘孔与升降气缸（5）所在的轴线存在角度15°≤α≤30°；所述微波发生器（14）包括微波模组（1401）与电离组件（15），所述电离组件（15）包括电离管（1501）与电离板（1502），所述电离管（1501）上设置有混合板（1503），电离管（1501）与合成管（16）连通，所述电离管（1501）上设置有混合电机（1504），所述混合电机（1504）输出端与混合板（1503）连接，所述微波模组（1401）均匀分布在合成管（16）内；所述电离组件（15）包括第一电极板（1506）与第二电极板（1507），所述第一电极板（1506）与第二电极板（1507）通过导线与通电组件（17）连接，所述电离管（1501）内设置有涌动环（1508），所述涌动环（1508）与电离管（1501）旋转连接，所述涌动环（1508）上设置有多个进气口，所述涌动环（1508）上设置有随转扇叶，所述电离管（1501）远离涌动环（1508）一端设置有反冲环（1510），所述反冲环（1510）与涌动环（1508）通过导管连通。

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