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申请/专利权人：中勤实业股份有限公司
摘要：一种气体散流装置及基板悬浮手臂，所述气体散流装置包含载板及散流件。所述载板具有上表面、下表面，及多个气孔，所述上表面向下凹陷而包含安装面部、出气面部，及向上延伸至所述载板顶缘的下导引面部，所述气孔连通所述下表面及所述上表面的所述出气面部。所述散流件包含中柱，及连接于所述中柱顶端的顶板，所述顶板位于所述气孔上方并与所述载板的所述上表面相间隔。当气体由下往上流经所述载板的所述气孔后，气流在所述散流件的所述顶板的底面、所述中柱及所述载板的所述出气面部间经过多次反射后，通过所述下导引面部的引导后向上流出，产生均匀向上的气流。
主权项：1.一种气体散流装置，其特征在于：包含：载板，具有上表面、下表面，及多个气孔，所述上表面向下凹陷而包含安装面部、环绕所述安装面部的出气面部，及环绕所述出气面部且向上延伸至所述载板的顶缘的下导引面部，所述气孔连通所述下表面及所述上表面的出气面部；及散流件，包含设置于所述安装面部的中柱，及连接于所述中柱的顶端的顶板，所述顶板位于所述气孔上方并与所述载板的上表面相间隔；所述散流件的顶板的底面、所述中柱，及所述载板的出气面部共同界定出供气流反射的反射空间；当气体由下往上流经所述载板的气孔后，气流在所述反射空间中经过多次反射后，气流通过所述载板的下导引面部的引导而向上流出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中勤实业股份有限公司 气体散流装置及基板悬浮手臂
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