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申请/专利权人：基本半导体(无锡)有限公司
摘要：本实用新型属于扩膜机技术领域，公开了一种扩膜机支架压紧机构，包括支撑架以及设于所述支撑架上的气缸，气缸的活塞杆上固定连接有按压装置，所述按压装置上设有固定支杆。本实用新型所述的扩膜机支架压紧机构，通过在按压装置上设置固定支杆，使得扩膜机支架压紧机构可以自动固定晶圆的铁环，有效的防止了晶圆在做环切过程中UV膜回缩的现象。
主权项：1.一种扩膜机支架压紧机构，其特征在于，包括支撑架10以及设于所述支撑架10上的气缸20，气缸的活塞杆21上固定连接有按压装置30，所述按压装置30上设有固定支杆31；所述机构还包括工作台40及用于支撑所述工作台的支撑台50，所述固定支杆31垂直设置于所述工作台40上，且所述固定支杆31的数量至少为2个；所述固定支杆31底部套设有缓冲垫311；所述工作台40上设有沿竖直方向运动的升降装置41，且所述升降装置41上设有用于容纳晶圆60的限位槽42，所述限位槽42内设有用于固定晶圆60的铁环70。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 基本半导体(无锡)有限公司 一种扩膜机支架压紧机构
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