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一种防飞溅的金属蒸镀装置 

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申请/专利权人:厦门光莆电子股份有限公司

摘要:本实用新型提供了一种防飞溅的金属蒸镀装置,涉及镀膜设备技术领域。包括适于将金属丝气化的蒸发舟,所述蒸发舟的熔池上方设置有导料装置,所述导料装置内形成有适于金属丝进入的导料通道,所述导料装置靠近所述蒸发舟熔池的一端形成有开口大于所述导料通道的罩口,所述罩口适于在所述金属丝在靠近所述蒸发舟的位置液化滴落产生飞溅时遮挡飞溅的金属液。通过本实用新型方案,可以大大减少蒸镀时金属液飞溅的情况,提高蒸镀质量。

主权项:1.一种防飞溅的金属蒸镀装置,包括适于将金属丝气化的蒸发舟,其特征在于,所述蒸发舟的熔池上方设置有导料装置,所述导料装置内形成有适于金属丝进入且竖直于所述蒸发舟的熔池面的导料通道,所述导料装置靠近所述蒸发舟熔池的一端形成有开口大于所述导料通道的罩口,所述罩口适于在所述金属丝在靠近所述蒸发舟的位置液化滴落产生飞溅时遮挡飞溅的金属液。

全文数据:

权利要求:

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