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申请/专利权人：江苏联芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型涉及安装分布结构技术领域，尤其为一种注入机的寻边传感装置的安装分布结构，包括工作壳和支撑壳，所述工作壳下端一侧固定连接有支撑壳，所述工作壳下端内侧固定连接有电机，所述电机主轴末端固定连接有接收器，所述接收器内侧开设有滑槽，所述滑槽内侧滑动连接有滑块，所述滑块上端固定连接有固定圈，所述接收器内侧固定连接有橡胶板，所述滑块下端固定连接有齿块，所述齿块一侧与齿圈外侧啮合，所述齿圈内侧固定连接有发条弹簧，本实用新型中，在对晶圆通过传感装置进行检测时，对晶圆进行压持固定，压持后的不影响对晶圆的发射端进行检测，转动接收端，从而检测晶圆的缺口位置，方便对晶圆进行加工。
主权项：1.一种注入机的寻边传感装置的安装分布结构，包括工作壳1和支撑壳2，其特征在于：所述工作壳1下端一侧固定连接有支撑壳2，所述工作壳1下端内侧固定连接有电机3，所述电机3主轴末端固定连接有接收器4，所述接收器4内侧开设有滑槽5，所述滑槽5内侧滑动连接有滑块6，所述滑块6上端固定连接有固定圈7，所述接收器4内侧固定连接有橡胶板8，所述滑块6下端固定连接有齿块9，所述齿块9一侧与齿圈10外侧啮合，所述齿圈10内侧固定连接有发条弹簧11，所述发条弹簧11一端固定连接在接收器4内侧，所述工作壳1上端内侧固定连接有电动伸缩杆17，所述电动伸缩杆17下端固定连接有注入器12，所述注入器12下端固定连接有弹簧伸缩杆13，所述弹簧伸缩杆13下端固定连接有滑动圈14，所述滑动圈14下端转动连接有压持滚轮15，所述注入器12下端固定连接有发射器16，所述滑动圈14内侧滑动连接在注入器12下端外侧。
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百度查询： 江苏联芯半导体科技有限公司 一种注入机的寻边传感装置的安装分布结构
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