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申请/专利权人：上海良薇机电工程有限公司
摘要：本实用新型涉及一种高纯氨充装系统及半导体工艺系统，高纯氨充装系统包括液氨汽化模块、纯度分析模块、充装模块、回流模块和吹扫模块。其优点在于，通过设置纯度分析模块并与液氨汽化模块连通，且纯度分析模块可对液氨汽化模块内的氨气进行分析并得到分析结果，装置并根据分析结果将液氨汽化模块内氨气、液氨输送至充装模块、回流模块。
主权项：1.一种高纯氨充装系统，其特征在于，包括：液氨汽化模块，所述液氨汽化模块与液氨供应模块连通，用于存储液氨、汽化液氨以得到氨气；纯度分析模块，所述纯度分析模块与所述液氨汽化模块连通，用于分析氨气的成分是否符合标准；充装模块，所述充装模块分别与所述液氨汽化模块、所述纯度分析模块连通，用于在氨气的成分符合标准的情况下，充装液氨至槽车和或钢瓶；回流模块，所述回流模块分别与所述液氨汽化模块、所述充装模块连通，用于在氨气的成分不符合标准的情况下，回收氨气与液氨；吹扫模块，所述吹扫模块与所述液氨汽化模块、所述充装模块连通，用于对所述液氨汽化模块、所述充装模块及管路内的杂质进行吹扫。
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百度查询： 上海良薇机电工程有限公司 一种高纯氨充装系统及半导体工艺系统
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