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一种漏斗形光罩 

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申请/专利权人:深圳奇立电子科技有限公司

摘要:在本申请的实施例中提供了一种漏斗形光罩,涉及光罩领域。包括罩体,罩体由第一曲面、第二曲面、第三曲面和第四曲面围合而成,第一曲面和第二曲面相对设置,第三曲面和第四曲面相对设置,第一曲面和第二曲面朝向罩体外部弯曲,第三曲面和第四曲面朝向罩体内部弯曲;罩体具有相对设置的第一开口和第二开口,第一开口和第二开口分别位于第一曲面、第二曲面、第三曲面和第四曲面围合之后的两端,第一开口的口径小于第二开口的口径,第一开口连接投影设备。本申请的光罩能够提高反射光线的均匀度及光的利用率,能够提高投影成像质量。

主权项:1.一种漏斗形光罩,其特征在于,包括罩体,所述罩体由第一曲面、第二曲面、第三曲面和第四曲面围合而成,所述第一曲面和所述第二曲面相对设置,所述第三曲面和所述第四曲面相对设置,所述第一曲面和所述第二曲面朝向所述罩体外部弯曲,所述第三曲面和所述第四曲面朝向所述罩体内部弯曲;所述罩体具有相对设置的第一开口和第二开口,所述第一开口和所述第二开口分别位于所述第一曲面、第二曲面、第三曲面和第四曲面围合之后的两端,所述第一开口的口径小于所述第二开口的口径,所述第一开口连接投影设备。

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权利要求:

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