龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海隐冠半导体技术有限公司
摘要：本实用新型涉及光刻机技术领域，公开一种调平辅助装置及光刻机。其中调平辅助装置包括掩模台、垂向驱动组件和至少三个调平组件。掩模台用于放置掩模板，掩模台上设置有一容置孔和至少三个安装槽，三个安装槽环设于容置孔，且安装槽沿容置孔径向延伸，掩模板放置于容置孔上方；一个调平组件安装于一个安装槽内，调平组件包括簧片和调节球，簧片的第一端连接至安装槽内，簧片的第二端连接有调节球，调节球位于容置孔内；垂向驱动组件设置于掩模台下方，用于驱动基底升降，以使基底抵接于调节球的下端点，掩模板抵接于调节球的上端点。本实用新型实现基底被动调平，提高了光刻的加工质量，该调平辅助装置具有结构简单、成本低、操作方便的优点。
主权项：1.一种调平辅助装置，用于将基底和掩模板调节至平行状态，其特征在于，包括：掩模台1，用于放置掩模板，所述掩模台1上设置有一容置孔11和至少三个安装槽12，三个所述安装槽12环设于所述容置孔11，且所述安装槽12沿所述容置孔11径向延伸，所述掩模板放置于所述容置孔11上方；至少三个调平组件2，一个所述调平组件2安装于一个所述安装槽12内，所述调平组件2包括簧片21和调节球22，所述簧片21的第一端连接至所述安装槽12内，所述簧片21的第二端连接有所述调节球22，所述调节球22位于所述容置孔11内；垂向驱动组件，设置于所述掩模台1下方，用于驱动所述基底升降，以使所述基底抵接于所述调节球22的下端点，所述掩模板抵接于所述调节球22的上端点。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海隐冠半导体技术有限公司 一种调平辅助装置及光刻机
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号