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申请/专利权人：日本电产理德股份有限公司
摘要：基板检查装置包括：基板保持构件2，保持作为检查对象的基板10；检查夹具4a、检查夹具4b，具有可动板6a、可动板6b以及支撑所述可动板6a、可动板6b的支撑构件7，所述可动板6a、可动板6b具有与所述基板保持构件2所保持的基板10的检查对象部13D、检查对象部13U接触的接触部63、63；以及升降驱动机构5a、升降驱动机构5b，使所述检查夹具4a、检查夹具4b升降移位，从而使所述可动板6a、可动板6b移动至所述接触部63、63接近所述检查对象部13D、检查对象部13U的检查待机位置。
主权项：1.一种基板检查装置，包括：基板保持构件，保持作为检查对象的基板；检查夹具，具有可动板以及支撑所述可动板的支撑构件，所述可动板设置有与所述基板保持构件所保持的基板的检查对象部接触的接触部；以及升降驱动机构，使所述检查夹具升降移位，从而使所述可动板移动至所述接触部接近所述检查对象部的检查待机位置，所述基板检查装置中，在所述支撑构件上设置有轴支部以及摆动驱动部，所述轴支部包括以能够摆动的方式支撑所述可动板的支撑轴，所述摆动驱动部使所述可动板以所述支撑轴为支点进行摆动移位，从而使所述接触部与所述检查对象部接触，所述支撑轴设置在所述支撑构件的端部，所述接触部设置在相对于所述支撑轴的相反侧的端部，所述摆动驱动部施加力于所述支撑轴与所述接触部之间，所述摆动驱动部通过对所述支撑轴与所述接触部之间的部分施加力而使所述接触部与所述检查对象部接触。
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权利要求：
百度查询： 日本电产理德股份有限公司 基板检查装置
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