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申请/专利权人：金陵科技学院
摘要：本发明公开了一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，包括作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测的有源区；将有源区与外部金属层相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出的电极；以及采用芯片内部互联方式的互联线；所述电极为7个，分别为C1～C7，采用对称式分布；7个电极两两采用内部互联线相连，互联的两电极位于对称点两侧。通过两侧电流交换减小两侧非对称性带来的传感器失调。本发明内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器与传统的与电极垂直霍尔传感器相比失调电压降低到原来的9.8％，失调磁场降低到原来的11.7％。
主权项：1.一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器，其特征在于，包括：有源区，作为电子运动空间，结合霍尔效应产生霍尔电压，从而实现对磁场的探测；电极：将有源区与外部电路相连，用于恒流激励的施加，以及霍尔电压的输出；其中，所述电极为7个，分别为C1~C7，采用对称式分布；互联线：采用M1和M2两层金属层实现芯片内部互联；其中，电极C2与C6通过金属层M1互联，并通过金属层M1管脚PAD0接地；电极C1与C5通过金属层M1互联，并通过金属层M1管脚PAD1实现霍尔电压输出；电极C4通过金属层M2管脚PAD3实现偏置电流输入；电极C3与C7通过金属层M2互联，并通过金属层M2管脚PAD2实现霍尔电压输出；所述有源区采用窄条设计，长度和宽度分为90μm和3μm；所述电极的宽度为1μm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 金陵科技学院 一种内互联七电极低失调垂直霍尔磁传感器
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