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一种叠层无源微混合器及其制作方法 

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申请/专利权人:武夷学院

摘要:本发明公开了一种叠层无源微混合器及其制作方法,该叠层无源微混合器包括多个PDMS薄固化层和多张间隔纸片,一个PDMS薄固化层上设有具有两个入口和一个出口的通道,其余PDMS薄固化层上设有具有一个入口和出口的通道,自下而上按一个PDMS薄固化层、一张间隔纸片的顺序依次叠放形成叠层结构,最上方为具有两个入口和一个出口的通道的PDMS薄固化层,上下两个通道的位置错开,间隔纸片位于相邻两个PDMS薄固化层的边缘之间使中央区域之间形成有微空腔,上下两个通道通过微空腔连通,相邻两个PDMS薄固化层的外周壁之间密封连接,最上方的通道的两个入口分别作为输入口,最下方的通道的出口作为输出口;优点是混合效率高,结构简单、工艺便捷、工艺成本低。

主权项:1.一种叠层无源微混合器的制作方法,其特征在于包括以下步骤:步骤一:制作多个尺寸相同的PDMS薄固化层,其中一个PDMS薄固化层上贯穿上下制作有具有两个入口和一个出口的通道,其余PDMS薄固化层上贯穿上下制作有具有一个入口和一个出口的通道;步骤二:制作多张外框尺寸与PDMS薄固化层的尺寸一致,且框边宽度为1~2毫米的呈框状的间隔纸片;步骤三:自下而上按一个PDMS薄固化层、一张间隔纸片的顺序依次对齐叠放,使相邻两个PDMS薄固化层上的通道的位置错开,使间隔纸片位于相邻两个PDMS薄固化层的边缘之间形成叠层结构,叠层结构中最上方为具有两个入口和一个出口的通道的PDMS薄固化层、相邻两个PDMS薄固化层上的通道通过这两个PDMS薄固化层的中央区域之间形成的微空腔连通;步骤四:在相邻两个PDMS薄固化层的外周壁之间涂覆凝胶态的PDMS经固化后形成密封圈实现密封连接;步骤五:将叠层结构中最上方的PDMS薄固化层上的通道的两个入口分别作为输入口并引出细软管,将叠层结构中最下方的PDMS薄固化层上的通道的出口作为输出口并引出细软管,至此制作得到叠层无源微混合器;所述叠层无源微混合器包括多个PDMS薄固化层和多张间隔纸片,其中一个所述的PDMS薄固化层上贯穿上下设置有具有两个入口和一个出口的通道,其余所述的PDMS薄固化层上贯穿上下设置有具有一个入口和一个出口的通道,自下而上按一个所述的PDMS薄固化层、一张所述的间隔纸片的顺序依次叠放形成叠层结构,所述的叠层结构中最上方为具有两个入口和一个出口的通道的所述的PDMS薄固化层,相邻两个所述的PDMS薄固化层上的通道的位置错开,所述的间隔纸片位于相邻两个所述的PDMS薄固化层的边缘之间使相邻两个所述的PDMS薄固化层的中央区域之间形成有一个微空腔,相邻两个所述的PDMS薄固化层上的通道通过所述的微空腔连通,相邻两个所述的PDMS薄固化层的外周壁之间密封连接,所述的叠层结构中最上方的所述的PDMS薄固化层上的通道的两个入口分别作为输入口,所述的叠层结构中最下方的所述的PDMS薄固化层上的通道的出口作为输出口,所述的叠层结构中最上方的所述的PDMS薄固化层上的通道为T型结构或Y型结构通道、其余所述的PDMS薄固化层上的通道为竖直的直通通道,所述的PDMS薄固化层上的通道位于所述的PDMS薄固化层的一个角端处,叠放时使相邻两个所述的PDMS薄固化层上的通道呈对角错开。

全文数据:

权利要求:

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