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申请/专利权人：东和株式会社
摘要：本发明提供一种切断装置，不需要使加工工作台移动的移动机构且不需要波纹罩等保护罩，且包括：加工工作台2A、加工工作台2B，对加工对象物W加以保持；加工机构3，一面使用加工液一面利用旋转工具30对加工对象物W进行加工；以及移动机构5，使加工机构3至少分别在水平面上的XY方向上直线移动，相对于至少固定于XY方向上的加工工作台2A、加工工作台2B而通过移动机构5移动的加工机构3对加工对象物W进行加工。
主权项：1.一种切断装置，包括：两个以上的加工工作台，对经树脂密封的已密封基板加以保持；切断机构，一面使用加工液一面利用旋转工具将所述已密封基板切断而单片化为多个制品；移动机构，使所述切断机构至少分别在水平面上的XY方向上直线移动；以及旋转机构，使所述两个以上的加工工作台分别在水平面上旋转，相对于至少固定于XY方向上的所述两个以上的加工工作台而分别通过所述移动机构移动的所述切断机构对所述已密封基板进行切断，所述移动机构包括：X方向移动部，使所述切断机构在X方向上直线移动；Y方向移动部，使所述切断机构在Y方向上直线移动；以及Z方向移动部，使所述切断机构在Z方向上直线移动，所述两个以上的加工工作台是在水平面上沿着Y方向设置，所述Y方向移动部包括：一对Y方向导轨，是在所述两个以上的加工工作台共用，并且在所述两个以上的加工工作台的侧方隔着所述两个以上的加工工作台沿着Y方向而设置；以及门型支撑体，沿着所述一对Y方向导轨移动，并且经由所述X方向移动部而支撑所述切断机构，所述旋转工具是由以于X方向相互相向的方式分别安装有旋转刀的两个主轴所构成，该些旋转刀的旋转轴沿着X方向，两个所述主轴通过所述移动机构能够分别在X方向及Z方向上相互独立地直线移动。
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