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垂直腔面发射激光器件 

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申请/专利权人:首尔伟傲世有限公司

摘要:一实施例的垂直腔面发射激光器件,包括:下镜;上镜,布置于所述下镜上方;活性区域,布置于所述下镜和所述上镜之间;下n型覆层,布置于所述活性区域和所述下镜之间;上n型覆层,布置于所述活性区域和所述上镜之间;高浓度掺杂的p型半导体层,布置于所述活性区域和所述上n型覆层之间;以及高浓度掺杂的n型半导体层,布置于所述高浓度掺杂的p型半导体层和所述上n型覆层之间而与所述高浓度掺杂的p型半导体层形成隧道接合。

主权项:1.一种垂直腔面发射激光器件,其特征在于,包括:下镜;上镜,布置于所述下镜上方;活性区域,布置于所述下镜和所述上镜之间;下n型覆层,布置于所述活性区域和所述下镜之间;上n型覆层,布置于所述活性区域和所述上镜之间;高浓度掺杂的p型半导体层,布置于所述活性区域和所述上n型覆层之间;上欧姆接触层,沿着所述上镜周围欧姆接触于所述上n型覆层;环状的沟槽,使所述下n型覆层暴露;台面,被所述沟槽围绕;上绝缘层,覆盖所述台面以及所述沟槽的侧壁及底面,并且具有使所述上欧姆接触层暴露的第一开口部;第二电极焊盘,布置于所述上绝缘层上,并通过所述第一开口部电接通于所述上欧姆接触层,所述第二电极焊盘延伸为覆盖所述沟槽的所述侧壁和所述底面。

全文数据:

权利要求:

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