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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第二十六研究所
摘要：本发明提供了一种集成波导及其制作方法，所述集成波导包括：第一基板层，其一面上形成有第一金属层；第二基板层，其一面上形成有第二金属层；金属围栏，至少有一段金属围栏设置在第一金属层与第二金属层之间，并且连通第一金属层与第二金属层，第一金属层、金属围栏及第二金属层构成波导腔。在本发明中，结合上下两层单面设置有金属层的基板层与中间位置的金属围栏，形成集成波导结构，相比于传统的基于单层基板的内部过孔刻蚀及金属化处理形成的集成波导结构，其工艺过程较为简单，易于加工，易于集成，制作效率高。
主权项：1.一种集成波导，其特征在于，包括：第一基板层，与第二基板层相对设置，其上形成有第一金属层；所述第二基板层，其上形成有第二金属层；围栏，设置在所述第一基板层与所述第二基板层之间，所述围栏包括至少一段金属围栏，所述金属围栏连通所述第一金属层与所述第二金属层，所述第一金属层、所述金属围栏及所述第二金属层构成用于电磁波传播的波导腔，所述波导腔中设置有金属传输线或者填充结构，所述第一金属层或者所述第二金属层的两端设置有输入信号线及输出信号线；所述第一基板层的正面与所述第二基板层的正面相对设置；所述第一金属层采用侧面包边的方式设置在所述第一基板层的背面上，所述第一基板层包括第一基板，所述第一金属层包覆所述第一基板的两个侧面后延伸到所述第一基板的正面；所述围栏还包括非金属围栏，所述非金属围栏设置在所述第一基板层与所述第二基板层之间，所述非金属围栏沿着第二方向延伸设置，所述非金属围栏与所述金属围栏沿着第一方向相对设置，所述第一方向垂直于所述第二方向。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第二十六研究所 集成波导及其制作方法
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