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申请/专利权人：无锡艾方芯动自动化设备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶片测试头，包括：一座体，内部设有一光通道及一气道，底部设有一接触垫，气道连通光通道能产生负压吸力，接触垫具有一窗口，窗口为光通道出口；一光源，设置于座体内，面对光通道投射光线至窗口；藉此座体以接触垫与晶片接触，达到能取放晶片、施压及在测试时提供光线予晶片的目的。
主权项：1.一种晶片测试头，其特征在于，包括：一座体，内部设有一光通道及一气道，底部设有一接触垫，该气道连通该光通道能产生负压吸力，该接触垫具有一窗口，该窗口为该光通道出口；以及一光源，设置于该座体内，面对该光通道投射光线至该窗口；该座体是由第一机体、第二机体、第三机体及第四机体依序串接固定在一起；该光通道贯穿设置于该第一机体、该第二机体及该第三机体，该气道是连通分布于该第二机体、该第三机体及该第四机体；该气道是在该第二机体处与该光通道相连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 无锡艾方芯动自动化设备有限公司 一种晶片测试头
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