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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：处理条件选择方法包括步骤S21以及步骤S22。在步骤S21中，比较表示在对象物的多个测定位置分别测定出的多个厚度的分布的厚度图案TM与预先存储的多个参照图案RP，根据规定规则从多个参照图案RP中确定与厚度图案RM相关度高的参照图案RP。在步骤S22中，取得与多个参照图案RP分别相关联的多个参照处理条件中的、与所确定的参照图案RP相关联的参照处理条件而作为对象物的处理条件。多个参照图案RP分别表示参照对象物的物理量的分布。多个参照处理条件分别表示过去对具有参照图案RP的参照对象物执行了处理时的处理条件。
主权项：1.一种处理条件选择方法，从多个参照处理条件中选择通过处理液对构成基板的对象物进行处理时能够使用的处理条件，其特征在于，所述处理条件选择方法包括：在所述处理液进行处理前，在所述对象物的多个测定位置分别测定出所述对象物的厚度的步骤；比较表示在多个所述测定位置分别测定出的多个所述厚度的分布的厚度图案与预先存储于存储部的多个参照图案，根据规定规则从多个所述参照图案中确定与所述厚度图案相关度高的参照图案的步骤；以及从所述存储部取得与多个所述参照图案分别相关联的多个参照处理条件中的、与所确定的所述参照图案相关联的参照处理条件而作为所述处理条件的步骤，多个所述参照图案分别表示参照对象物的物理量的分布，多个所述参照处理条件分别表示过去对具有所述参照图案的所述参照对象物执行了所述处理液的处理时的处理条件，预先将多个所述参照图案的每一个分类为多个参照组中的某一个，根据参照图案的形状的特征来决定多个所述参照组，确定所述参照图案的所述步骤包括：将所述厚度图案分类为多个所述参照组中的某一个参照组的步骤；以及以多个所述参照图案中的、分类为分类有所述厚度图案的所述参照组的2个以上的参照图案为对象，根据所述规定规则进行所述厚度图案与所述参照图案的比较，决定与所述厚度图案相关度高的所述参照图案的步骤。
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百度查询： 株式会社斯库林集团 处理条件选择方法、基板处理方法、基板制品制造方法、处理条件选择装置、计算机程序以及存储介质
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