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申请/专利权人：松诺盟科技有限公司
摘要：本发明提供一种球形纳米薄膜压力变送器及其应用，涉及压力传感器技术领域。本发明的球形纳米薄膜压力变送器包括压力芯体和球形外壳；所述压力芯体包括钢基；所述钢基上方设有绝缘底层，所述绝缘底层的材料为Ta2O5；所述绝缘底层表面部分区域设置有电阻变化层，所述电阻变化层包括NiCr层和TiMoCuPt层；所述TiMoCuPt层包含45~58wt%Ti、18~27wt%Mo、12~18wt%Cu和4~12wt%Pt。该变送器精度和稳定性优良，同时也因其小型质轻的特点适用于复杂恶劣的探测环境。
主权项：1.一种球形纳米薄膜压力变送器，其特征在于，包括压力芯体和球形外壳；所述压力芯体包括钢基；所述钢基内部还包括导压通道，导压通道与外界连通；所述钢基上方设有绝缘底层，所述绝缘底层的材料为Ta2O5；所述绝缘底层的粗糙度的轮廓算术平均偏差为2.5~2.9nm；所述绝缘底层表面部分区域设置有电阻变化层，所述电阻变化层包括NiCr层和TiMoCuPt层；所述TiMoCuPt层包含45~58wt%Ti、18~27wt%Mo、12~18wt%Cu和4~12wt%Pt。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 松诺盟科技有限公司 一种球形纳米薄膜压力变送器及其应用
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