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申请/专利权人：罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司
摘要：一种具有抛光部分的抛光垫，所述抛光部分包含聚合物基质和提高速率的层状颗粒，所述层状颗粒包含第III‑A族或第IV‑A族金属的磷酸盐或砷酸盐，所述抛光垫可有效用于化学机械抛光，尤其是当使用包含在浆料条件下具有正电荷的颗粒的浆料时。
主权项：1.一种用于化学机械抛光的抛光垫，其具有包含聚合物基质和用于提高抛光速率的层状颗粒的抛光部分，所述层状颗粒包括具有式MHYO42nH2O的材料，其中M是Zr+4、Ti+4或Ce+4，Y是P或As，并且n是0、1或2，其中，所述层状颗粒具有分裂成薄片的交替晶体结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司 具有提高的速率的CMP抛光垫
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