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申请/专利权人：无锡市品鑫智能机电科技有限公司

摘要：本发明涉及晶圆运输技术领域，尤其涉及一种具备缓释运力压力功能的晶圆运输系统，包括：工作机床；同步轮，设有两组，通过支架安装在工作机床的顶端，且同步轮的外侧套设有传动带；晶圆放置件，均匀布置在传动带的外表面处，晶圆放置件上设有可拆卸更换的晶圆放置板；同步盛接组件，设在工作机床的顶端一侧，同步盛接组件上设有可进行复位调节的L形盛接板、推杆电机以及滑动环。本发明在对晶圆进行传输过程中能够有效实现晶圆的归位需求，并能够实现晶圆的规格检查以及多余晶圆的夹持暂存，实现运力的缓释，还能够保证晶圆稳定传输，降低碰撞，实现设备的同步运转，且设备维护成本低，维养方便，进而保证后续长久的有效传递运输作业。

主权项：1.一种具备缓释运力压力功能的晶圆运输系统，其特征在于，包括：工作机床（1）；同步轮（5），设有两组，通过支架安装在工作机床（1）的顶端，且同步轮（5）的外侧套设有传动带（3）；晶圆放置件（9），均匀布置在传动带（3）的外表面处，晶圆放置件（9）上设有可拆卸更换的晶圆放置板（92）；同步盛接组件（2），设在工作机床（1）的顶端一侧，同步盛接组件（2）上设有可进行复位调节的L形盛接板（28）、推杆电机（29）以及滑动环（23）；同步调节机构（7），安装在靠近同步盛接组件（2）的一组同步轮（5）的轴心处；运力缓释机构（4），安装于工作机床（1）的顶端，并置于传动带（3）的侧面；所述同步调节机构（7）包括与同步轮（5）同轴连接的同步桩（71），同步桩（71）的曲面处开设有指向圆心的凹槽，并在凹槽处插设有拨动杆（72），拨动杆（72）位于凹槽内部的一端连接有与同步桩（71）内壁粘接的弹簧Ⅰ（73）；所述工作机床（1）的顶端通过支撑杆安装有L形的L形固定架（10），L形固定架（10）底端安装有同步盛接组件（2），同步盛接组件（2）包括与L形固定架（10）底端固定连接的弧形滑杆（21），弧形滑杆（21）呈90°圆弧状，弧形滑杆（21）的圆弧段圆心位于同步调节机构（7）的轴心线上，且底端连接有与工作机床（1）顶端固定连接的底部触发组件（210），弧形滑杆（21）的外侧套设有滑动环（23），滑动环（23）的初始位置为弧形滑杆（21）上与同步调节机构（7）的轴心处同高度的位置；弧形滑杆（21）的一侧设有通过支架连接在L形固定架（10）底端的圆形导向件（25），圆形导向件（25）与同步调节机构（7）轴心线重合，且圆形导向件（25）的一侧设有环形滑槽，并在环形滑槽的底端处设有部分凸起的调节段凹槽，圆形导向件（25）在环形滑槽内滑动设置有调节杆（74），调节杆（74）固定安装于拨动杆（72）的侧面；圆形导向件（25）的外曲面设有环形凹槽，并在环形凹槽处套设有转动环（26），转动环（26）与滑动环（23）之间固定连接有连接弯杆（24），连接弯杆（24）的侧面连接有抵触杆（27），且抵触杆（27）位于拨动杆（72）的下方；所述滑动环（23）的一侧安装有推杆电机（29），推杆电机（29）的输出轴端部固定连接有与晶圆放置件（9）适配的L形盛接板（28），L形盛接板（28）在滑动环（23）位于初始状态位置时是处于竖直设置的待接触状态；底部触发组件（210）包括L形触发架（2101），L形触发架（2101）与弧形滑杆（21）连接的侧壁上部安装有压力传感器（2102），且L形触发架（2101）的另一侧安装有气动推杆（2104），压力传感器（2102）与推杆电机（29）以及气动推杆（2104）电连接，气动推杆（2104）的输出轴贯穿深入L形触发架（2101）的内侧并同轴连接有推板（2103），且工作机床（1）的顶端在底部触发组件（210）的一侧设有传输坡板（8）；弧形滑杆（21）的外侧上部套设有与滑动环（23）粘接的弹簧Ⅱ（22）；所述运力缓释机构（4）包括安装在工作机床（1）顶端的伺服电机（41），伺服电机（41）的输出轴同轴连接有转动杆（42），转动杆（42）的顶端外侧呈阵列式地固定安装有若干组调节夹持组件（45）；调节夹持组件（45）包括固定条（451），固定条（451）的一侧设有凹槽，并在凹槽处设有双向丝杆（452），双向丝杆（452）的外侧对称螺纹套设有两组螺纹套管，螺纹套管的一侧设有插接杆，并插接有两组夹持归位件（454），固定条（451）的一端安装有用于驱动双向丝杆（452）旋转的驱动电机Ⅱ（453）；其中夹持归位件（454）包括两组夹持归位板（4541），夹持归位板（4541）内侧为与晶圆放置板（92）上放置槽一致的半圆形开口，方便合拢后有效实现晶圆的归位以及夹持，固定条（451）的一端连接有插接块（4542），插接块（4542）上开设有与插接杆适配的插槽，并在插槽上方穿设有用于锁紧固定的锁紧螺钉（4543）；所述转动杆（42）的外侧固定安装有扶持环（44），且扶持环（44）的侧面均匀安装有若干组与工作机床（1）顶端固定连接的支撑杆（43）。

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