龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：冯·阿登纳资产股份有限公司
摘要：衬底承载设备及其用途、真空工艺系统和方法。根据各种实施方式，衬底承载设备3包括：支承区域，借助于该支承区域可以可移动地支承衬底承载设备3；多个彼此电流分离的电极4；多个依次设置的衬底承载区域104，衬底承载区域104中的每一者具有：多个电极4中的一个电极4；和至少一个衬底接纳设备，该衬底接纳设备设计用于：接纳设置在衬底承载区域104中的衬底，优选地与电极4物理接触。
主权项：1.一种衬底承载设备3，包括：支承区域，借助于所述支承区域能够可移动地支承所述衬底承载设备3；多个彼此电流分离的电极4；多个依次设置的衬底承载区域104，所述衬底承载区域104中的每个衬底承载区域具有：多个所述电极4中的一个电极4；和至少一个衬底接纳设备，所述衬底接纳设备设计用于：接纳设置在所述衬底承载区域104中的衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 冯·阿登纳资产股份有限公司 衬底承载设备及其用途、真空工艺系统和方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号