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一种用于PCB通孔金属致密填充的酸性硫酸盐电子电镀铜组合添加剂 

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申请/专利权人:厦门大学

摘要:本发明公开了一种用于PCB通孔金属致密填充的酸性硫酸盐电子电镀铜组合添加剂,由桥连剂、运载剂、细化剂和整平剂以10‑100∶50‑1500∶0.1‑20∶0.1‑100的质量比组成。本发明以提供卤素阴离子的无机物为桥连剂,以聚醇或聚醚或聚酯类化合物为运载剂,以含硫化合物为细化剂,以伯仲叔胺或季铵盐为整平剂,结合特定的高铜低酸、温度、镀液搅拌、鼓空气、阴极移动和电镀的电流密度条件,实现PCB通孔致密填充。

主权项:1.一种用于PCB通孔金属致密填充的酸性硫酸盐电子电镀铜组合添加剂,其特征在于:由桥连剂、运载剂、细化剂和整平剂以10-100:50-1500:0.1-20:0.1-100的质量比组成,其中,桥连剂为氯化钠、盐酸或溴化钾,运载剂为丁氧基聚丙二醇、聚山梨醇酯或脂肪醇聚氧乙烯醚,细化剂为2-巯基噻唑啉、2-巯基乙烷磺酸钠或6-巯基己酸,整平剂为二甲基吡啶胺、琥珀酸铵或碱性红;其所适用的电子电镀条件为:电镀液中含有180-250gLCuSO4•5H2O和20-80gLH2SO4,电镀的温度为20-35℃,电镀的电流密度为0.5-4.0Adm2;其添加到该电镀液中,其中,桥连剂的终浓度达到10-100mgL,运载剂的终浓度达到50-1500mgL,细化剂的终浓度达到0.1-20mgL,整平剂的终浓度达到0.1-100mgL。

全文数据:

权利要求:

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