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多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置、系统及方法 

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申请/专利权人:美新半导体(天津)有限公司

摘要:本发明提供一种多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置、系统及方法,其中,多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置包括:磁场产生器,其受控在预定空间产生磁场H;两轴转台,其放置于所述预定空间内,所述两轴转台包括转盘、第一转轴和第二转轴,其中,所述转盘固定于所述第一转轴的一端,所述第二转轴与所述第一转轴正交,所述第一转轴受控转动时带动所述转盘同步转动;所述第二转轴受控转动时带动所述第一转轴和所述转盘以所述第二转轴为中心轴同步周向运动。与现有技术相比,本发明可以实现多轴例如九轴集成MEMS惯性器件的高效可靠量产测试。

主权项:1.一种多轴集成的微机电系统惯性器件测试装置,其特征在于,其包括:磁场产生器,其受控在预定空间产生磁场H;两轴转台,其放置于所述预定空间内,所述两轴转台包括转盘、第一转轴和第二转轴,其中,所述转盘固定于所述第一转轴的一端,所述第二转轴与所述第一转轴正交,所述第一转轴受控转动时带动所述转盘同步转动;所述第二转轴受控转动时带动所述第一转轴和所述转盘以所述第二转轴为中心轴同步周向运动,测试板固定于所述转盘上,且所述测试板的表面与所述第一转轴垂直;所述测试板用于放置若干待测惯性器件,在所述测试板上建立一个参考坐标系,X轴和Y轴相互垂直并且定义了固定于所述转盘上的所述测试板所在的平面,Z轴垂直于X轴和Y轴所定义的平面,其中,X轴、Y轴和Z轴相对于所述测试板的方位不变,当上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使固定于所述转盘上的测试板的Z轴正方向竖直向上或竖直向下,且所述上位机设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Gauss时,所述上位机与所述测试板通信,以读取所述待测惯性器件内加速度计的Z轴负方向的实测加速度ACCZ-或Z轴正方向的实测加速度ACCZ+;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的Y轴正方向竖直向上或竖直向下,且设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Gauss时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内加速度计的Y轴负方向的实测加速度ACCY-或Y轴正方向的实测加速度ACCY+;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的X轴正方向竖直向上或竖直向下,且设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Gauss时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内加速度计的X轴负方向的实测加速度ACCX-或X轴正方向的实测加速度ACCX+;和或当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的Y轴方向与所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H的方向平行,且设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为正向或负向的预定磁场值时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内磁传感器的Y轴正向实测磁场值MagY+或Y轴负向的实测磁场值MagY-;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的X轴方向与所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H方向平行,且设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为正向或负向的预定磁场值时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内磁传感器的X轴正向的实测磁场值MagX+或X轴负向的实测磁场值MagX-;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的Z轴方向与所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H的方向平行,且设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为正向或负向的预定磁场值时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内磁传感器的Z轴正向实测磁场值MagZ+或Z轴负向实测磁场值MagZ-;和或当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的Z轴沿竖直方向,所述上位机设定所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Gauss,且所述上位机控制所述第一转轴以设定角速度ω顺时针或逆时针旋转时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内陀螺仪的Z轴正向实测角速度GyroZ+ω或Z轴负向实测角速度GyroZ-ω;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以使所述测试板上的X轴与第二转轴相平行,所述上位机控制所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Guass,且所述上位机控制所述第二转轴以设定角速度ω顺时针或逆时针旋转时,所述上位机与测试板通信,以读取所述待测惯性器件内陀螺仪的X轴正向实测角速度GyroX+ω或X轴负向实测角速度GyroX-ω;当所述上位机通过控制第一转轴和或第二转轴转动以将所述测试板上的Y轴与第二转轴相平行,所述上位机控制所述磁场产生器在预定空间产生的磁场H为0Guass,且所述上位机控制所述第二转轴以设定角速度ω顺时针或逆时针旋转时,所述上位机与测试板通信,以读取所述测试板上的待测惯性器件内陀螺仪的Y轴正向实测角速度GyroY+ω或Y轴负向实测角速度GyroY-ω。

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