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申请/专利权人:粤芯半导体技术股份有限公司
摘要:本发明公开一种嵌入式闪存高压器件及其制备方法,其中,嵌入式闪存高压器件为HVNMOS器件,且其栅极为P型栅。由此,得到的嵌入式闪存HVNMOS器件的阈值电压大约为‑0.9V;而常规的、栅极为N型栅的嵌入式闪存HVNMOS器件的阈值电压大约为‑1.5V;可见,与常规的嵌入式闪存HVNMOS器件相比,本申请的嵌入式闪存HVNMOS的阈值电压降低、读的电流增加、读的窗口增加,从而为器件的缩小提供了方便。
主权项:1.嵌入式闪存高压器件,其特征在于,所述高压器件为HVNMOS器件,且其栅极为P型栅。
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权利要求:
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