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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：描述了用于中央频率调谐的系统和方法。方法中的一种包括接收来自耦合到低频LF射频RF发生器和高频HFRF发生器的匹配器的输出的电压信号。该方法还包括针对由LFRF发生器产生的LFRF信号的每个周期将电压信号分成多个区间。该方法还包括从多个区间中识别发生过零点的第一区间，访问针对预定数量的多个区间的出现的参数测量值，并基于参数测量值计算第一区间的HFRF发生器的操作频率。该方法包括控制HFRF发生器在第一区间的出现期间以操作频率操作。
主权项：1.一种以独立于区间的方式减少朝向高频HF射频RF发生器反射的RF功率的方法，其包括：从耦合到低频LFRF发生器和所述HFRF发生器的匹配器的输出接收电压信号；针对由所述LFRF发生器产生的LFRF信号的每个周期将所述电压信号分成多个区间；从所述多个区间中识别发生过零点的第一区间；访问针对预定数量的所述多个区间的出现的参数测量值；基于所述参数的所述测量值计算所述第一区间的所述HFRF发生器的操作频率；在所述第一区间的出现期间控制所述HFRF发生器以所述操作频率操作。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于中央频率调谐的系统和方法
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