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申请/专利权人：上海普达特设备科技有限公司;上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司

摘要：本发明提供一种水平电镀设备包括电镀槽、隔离槽、电解液收集槽及电镀液收集槽，电镀槽中设置有阳极及传输滚轮；隔离槽设置于电镀槽中；隔离槽包括框架、隔离板及波纹调节板，框架包括相连接的底板、侧板及端板且构成空腔，端板上设置有滚轮安装位、电镀液出口、电解液进口及电解液出口，端板的外侧设置有导液板，电解液出口设置于导液板的内侧；隔离板设置于空腔内将空腔划分为电解槽及电镀液回流槽；波纹调节板的顶面呈波纹状且顶面凸设于侧板；电解液收集槽位于电镀槽外侧以收集电解液；电镀液收集槽位于电镀槽外侧以收集电镀液。本发明可实现电镀液与电解液的良好隔离、传输及应用，避免串液，提高电镀质量。

主权项：1.一种水平电镀设备，其特征在于，所述水平电镀设备包括：电镀槽，所述电镀槽中至少设置有阳极及传输滚轮；隔离槽，所述隔离槽设置于所述电镀槽中，包括：阴极滚轮；框架，所述框架包括相连接的底板、侧板及端板且构成具有开口的空腔，所述端板上均设置有滚轮安装位以安装所述阴极滚轮，且所述端板上设置有临近所述底板的电镀液出口及电解液进口，以及位于所述电解液进口上方的电解液出口，所述端板的外侧还设置有导液板，所述电解液出口设置于所述导液板的内侧；隔离板，所述隔离板设置于所述空腔内，所述隔离板与所述端板及所述底板均相连接且将所述空腔划分为包括相隔离的电解槽及位于所述电解槽两侧的电镀液回流槽，且所述电镀液回流槽与所述电镀液出口相连通，所述电解槽与所述电解液进口及所述电解液出口均相连通；波纹调节板，所述波纹调节板的顶面呈波纹状，所述波纹调节与所述侧板相连接，且所述波纹调节板的顶面凸设于所述侧板的顶面；所述水平电镀设备还包括：电解液收集槽，所述电解液收集槽位于所述电镀槽外侧，且所述电解液收集槽与所述导液板对应设置，以收集电解液；电镀液收集槽，所述电镀液收集槽位于所述电镀槽外侧，且所述电镀液收集槽与所述电镀液出口对应设置，以收集电镀液。

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权利要求：

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