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申请/专利权人：上海大学

摘要：本发明涉及一种不规则电极的生成方法、不规则电极的薄膜体声波谐振器，属于微机电MEMS技术领域，该生成方法包括：S1、在极坐标系中将多个随机振幅、随机相位的正弦波相叠加；S2、计算阻抗频率曲线中谐振频率点附近的杂散模态数量，设置波动阈值Δs，若是阻抗频率曲线的振幅SΔs，则记为一处杂散模态，一个器件中，谐振点附近的杂散模态总数量记为M；S3、建立前馈神经网络，将S1得到的单个不规则多边形的坐标编码为一维向量V，作为输入层，将其对应的杂散模态的数量M，作为输出层；输出层和输入层在训练前将进行归一化操作，使之能够与神经网络的结构所匹配，使用adam优化器，优化目标设置为杂散模态的数量M最小，进行训练，得到不规则多边形与杂散模态数量的关系模型；用验证集进行验证，得到关系模型；S4、利用S3中验证后的关系模型生成一组新的不规则多边形，将生成的多边形作为薄膜体声波谐振器的电极形状，得到薄膜体声波谐振器用不规则电极。与现有技术相比，本发明所采用的不规则电极形状结构经验证能够有效地抑制横向驻波的生成，进而减少频谱中的杂散模态。

主权项：1.一种不规则电极的生成方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、在极坐标系中将多个随机振幅、随机相位的正弦波相叠加，形成正弦波叠加后的曲线： 其中，H是谐波数量，由计算机随机生成的，范围为1-n，n为正整数；ρh是第h次谐波的振幅，其为0-1中的随机数；是第h次谐波的相位，其通过随机数得到；将正弦波叠加后的曲线在0-2π内进行等距采样，随后将采样点变换到直角坐标系，其x,y坐标由下列变换公式生成，形成电极形状的坐标编码： S2、计算阻抗频率曲线中谐振频率点附近的杂散模态数量，设置波动阈值Δs，若是阻抗频率曲线的振幅SΔs，则记为一处杂散模态，一个器件中，谐振点附近的杂散模态总数量记为M；S3、建立前馈神经网络，将S1得到的单个不规则多边形的坐标编码为一维向量V，作为输入层，将其对应的杂散模态的数量M，作为输出层；输出层和输入层在训练前将进行归一化操作，使之能够与神经网络的结构所匹配，使用adam优化器，优化目标设置为杂散模态的数量M最小，进行训练，得到不规则多边形与杂散模态数量的关系模型；用验证集进行验证，得到能够正确反应不规则多边形和杂散模态数量的关系的关系模型；S4、利用S3中验证后的关系模型生成一组新的不规则多边形，其生成图形的规则与用于神经网络训练的规则相同，将生成的多边形作为薄膜体声波谐振器的电极形状，得到薄膜体声波谐振器用不规则电极。

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