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通过波长路径划分测量晶片级测试中光损耗的方法和系统 

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申请/专利权人:先进微晶圆私人有限公司

摘要:本发明公开了一种光损耗测量系统,其包括设置在第一光纤端口组件上的光源单元。第一光纤端口组件104与第一光栅耦合器单元连接。第一光栅耦合器单元106与分路器单元连接。分路器单元将光转移到多条路径。多条路径与组合器模块组合。组合器模块与第二光栅耦合器单元连接。第二光栅耦合器单元与第二光纤端口组件连接。第二光纤端口组件与光功率检测器模块连接。

主权项:1.一种用于通过波长路径划分测量晶片级测试中的光损耗的系统100,所述系统包括:光源单元102,与第一光纤端口组件104连接以提供输入光波长;第一光栅耦合器单元106,其与所述第一光纤端口组件104连接以耦合相应的光纤阵列FA;分路器单元108,与所述第一光栅耦合器单元106连接,以将所述输入光波长转移到多条路径110A、110B…110C;组合器模块112,与所述多条路径110A、110B…110C连接以组合光波长;第二光栅耦合器单元114,与所述组合器模块112连接以耦合输出光纤阵列;光功率检测器模块118,与第二光纤端口组件116连接以收集输出光谱。

全文数据:

权利要求:

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