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申请/专利权人：苏州八零七智能科技有限公司
摘要：本发明公开了一种移栽变距真空传输装置，属于硅片加工技术领域，本发明包括底座，所述底座的上端安装有第一直线驱动模组，且第一直线驱动模组上安装有支撑板，所述支撑板的一侧安装有导向架，且支撑板的另一侧第二直线驱动模组；还包括：所述第一输送机和第二输送机上均安装有电容传感器。该移栽变距真空传输装置，能够在输送带传输时，方便对附着在输送带表面的杂质进行有效清理，同时利用可伸缩移动调节的清理结构仅在输送带需要清理时与输送带接触，并且在清理结构与输送带紧密接触时，减少输送带支架与输送带之间的接触面积，使其电机的负荷能够维持在正常水平，在同等功率下保证输送带对硅片的输送速度。
主权项：1.一种移栽变距真空传输装置，包括底座（1），所述底座（1）的上端安装有第一直线驱动模组（2），且第一直线驱动模组（2）上安装有支撑板（3），所述支撑板（3）的一侧安装有导向架（4），且支撑板（3）的另一侧第二直线驱动模组（5），所述第二直线驱动模组（5）上安装有第一输送机（6），且导向架（4）上固定安装有第二输送机（7）；其特征在于，还包括：所述第一输送机（6）和第二输送机（7）上均安装有电容传感器（8），且第一输送机（6）和第二输送机（7）上均安装有对皮带进行自洁的减阻清理部件（9），该减阻清理部件（9）在对皮带进行清理时，能够减小与皮带之间的接触面积，使电机在同等功率下维持正常速度传输硅片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州八零七智能科技有限公司 一种移栽变距真空传输装置
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