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裂纹检查装置及利用其的裂纹检查方法 

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申请/专利权人:三星显示有限公司;韩国科学技术院

摘要:本发明涉及一种裂纹检查装置及利用其的裂纹检查方法。裂纹检查方法可以包括如下步骤:将包括光射出部、相机以及控制模块的裂纹检查装置与具有曲面的被检查体彼此相邻地布置;设定所述被检查体的所述曲面的曲率方向;设定所述被检查体的感兴趣区域;利用所述相机测量所述相机与所述被检查体的水平距离和垂直距离;设定所述被检查体的检查起始点;以及利用所述控制模块校正从所述光射出部射出的激光束照射至所述曲面的位置。

主权项:1.一种裂纹检查方法,包括如下步骤:将包括光射出部、相机以及控制模块的裂纹检查装置与具有曲面的被检查体彼此相邻地布置;设定所述曲面的曲率方向;设定所述被检查体的感兴趣区域;利用所述相机测量所述相机与所述被检查体的水平距离和垂直距离;设定所述被检查体的检查起始点;以及利用所述控制模块校正从所述光射出部射出的激光束照射至所述曲面的位置。

全文数据:

权利要求:

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