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申请/专利权人：杭州晶驰机电科技有限公司

摘要：本发明涉及一种碳化硅衬底装载腔及其工作方法，它用于碳化硅外延炉中，它属于碳化硅外延领域。本发明包括主腔室、转角气缸、舱盖组件、石英顶针、石英块、升降托盘、载盘升降组件、载盘定位组件、载盘组件和中心托盘，主腔室顶部与舱盖组件相连，主腔室的三个侧面分别安装有一个载盘定位组件，主腔室内部底面安装有三个石英顶针，用于支撑载盘组件；主腔室的两侧分别安装有一个转角气缸，用于压紧舱盖组件；升降托盘上装有三个石英块，用于顶托载盘组件的中心托盘；主腔室的底面安装有一个载盘升降组件。本发明实现了碳化硅衬底在载盘上的自动化放置和载盘的自动化定位，提升了碳化硅外延设备的自动化水平，提高了设备安全性，满足使用需求。

主权项：1.一种碳化硅衬底装载腔，包括主腔室（1）、铰链支架（8）、转角气缸（9）和舱盖组件（10），所述碳化硅衬底装载腔以主腔室（1）为核心，顶部通过铰链支架（8）与舱盖组件（10）连接，其特征在于：还包括载盘升降组件（2）、载盘定位组件（4）、载盘组件（14）、石英顶针（17）、石英块（18）和升降托盘（19），所述主腔室（1）的左面、前面和右面三个侧面分别开孔并安装有一个载盘定位组件（4），每个载盘定位组件（4）均包括定位石英片（20）、定位杆（21）、水平气缸（23）和连接板（25），该载盘定位组件（4）以水平气缸（23）驱动连接板（25）、定位杆（21）和定位石英片（20），定位石英片（20）推动载盘组件（14）中外环（16）底部的凸台实现载盘组件（14）定位；主腔室（1）内部底面安装有三个石英顶针（17），用于支撑载盘组件（14），该载盘组件（14）包括外环（16）和中心托盘（15），外环（16）底部有一圈凸台，内孔周围有一圈台阶，用于搁置中心托盘（15）；主腔室（1）的左面和右面分别安装有一个转角气缸（9），用于压紧舱盖组件（10），保证腔室气密性；升降托盘（19）上装有三个石英块（18），用于顶托载盘组件（14）的中心托盘（15）；主腔室（1）的底面开孔并安装有一个载盘升降组件（2），该载盘升降组件（2）包括升降杆（29）、连杆（31）、摆动气缸（32）和直线导轨（33），该载盘升降组件（2）通过摆动气缸（32）驱动安装在直线导轨（33）上的连杆（31）上下移动，从而带动安装在连杆（31）上的升降杆（29）和升降托盘（19）上下移动，从而顶升或降下载盘组件（14）里的中心托盘（15）。

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