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申请/专利权人：周星工程股份有限公司
摘要：提供了一种薄膜晶体管以及其制造方法，特别是一种改善的特性的薄膜晶体管以及其制造方法。根据示例性实施例的薄膜晶体管包括栅极、包含第一金属元素的氧化物并设置为与栅极在垂直方向上间隔开的有源层、在有源层上设置为彼此间隔开的源极和漏极以及设置在有源层与源极和漏极之间的接触层。
主权项：1.一种薄膜晶体管，包括：栅极；有源层，包含第一金属元素的氧化物并设置为与所述栅极在垂直方向上间隔开；源极和漏极，在所述有源层上设置为彼此间隔开；以及接触层，包含第二金属元素并设置在所述有源层与所述源极和所述漏极之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 周星工程股份有限公司 薄膜晶体管以及其制造方法
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