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申请/专利权人：中国科学技术大学;合肥国家实验室
摘要：本发明提供了一种体心立方晶格钽薄膜及其制备方法、应用，属于磁控溅射镀膜技术领域。该体心立方晶格钽薄膜为具有111晶向的外延钽薄膜。本发明的体心立方晶格钽薄膜具有111晶向，相较于110晶向薄膜具有更少的晶畴和线缺陷。
主权项：1.一种体心立方晶格钽薄膜，其特征在于，所述体心立方晶格钽薄膜为具有111晶向的外延钽薄膜。
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百度查询： 中国科学技术大学 合肥国家实验室 体心立方晶格钽薄膜及其制备方法、应用
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