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申请/专利权人:华东师范大学
摘要:本发明公开了一种切槽型圆柱状超稳腔体结构及其热膨胀系数抑制方法,其特点是超稳腔采用超低热膨胀玻璃ULE腔体与熔融石英FS腔镜组成,通过腔镜背面同心粘结等直径的ULE环形成复合式结构,实现热膨胀系数的有效调控,具体实施步骤主要包括:多层隔热设计;超稳腔有效热膨胀系数的调控;根据仿真结果选取最优的ULE环尺寸。本发明与现有技术相比具有零膨胀温度可调控的优势,任意构型的腔体结构其热膨胀程度被有效抑制,规避了由于切割使ULE腔体结构的零膨胀温度改变,有效解决了腔体与腔镜不同基底材料间的热膨胀程度差异带来反射腔镜形变从而影响腔长的问题,具有广泛的运用前景。
主权项:1.一种切槽型圆柱状超稳腔体结构,包括ULE腔体、FS左腔镜和FS右腔镜,其特征在于,所述FS左腔镜上设有与腔镜等同直径的左ULE环,FS右腔镜上设有与腔镜等同直径的右ULE环,左ULE环和右ULE环与设置在ULE腔体两侧的FS左腔镜和FS右腔镜组成复合结构的超稳腔,实现超稳腔热膨胀系数的有效调控,所述ULE腔体为圆柱体状,其顶部设有抽气口,底部两侧设有轴向设置的切槽;所述左ULE环和右ULE环由光胶设置在腔镜背面,且与FS左腔镜和FS右腔镜为同心圆设置;所述FS左腔镜和FS右腔镜由光胶分别设置在ULE腔体两侧,且与ULE腔体为同心圆设置。
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权利要求:
百度查询: 华东师范大学 一种切槽型圆柱状超稳腔体结构及其热膨胀系数抑制方法
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