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申请/专利权人：合肥工业大学
摘要：本发明公开了一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头，包括具有圆柱形内腔的探头壳体；微球探针呈竖直固定在弹性簧片的下表面，分光棱镜固定在弹性簧片上表面，激光器和直角棱镜固定设置在探头壳体的下盖上，弹性簧片设置在下盖的中空圆面处；激光器和直角棱镜分处在分光棱镜的两侧，使激光器水平发射的准直光投射至分光棱镜，分光棱镜反射光向上投射至第一位置敏感探测器，分光棱镜透射光投射至直角棱镜，并经直角棱镜反射向上投射至第二位置敏感探测器；利用第二位置敏感探测器实现出射光热漂移测量，有效提高热稳定性。
主权项：1.一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头，其特征是包括：探头壳体，其是在圆柱竖筒4的顶端和底端分别设置上盖1和下盖6，形成具有圆柱形内腔的探头壳体，所述下盖6是具有中空圆面的环形端盖；测头单元，其包括微球探针8呈竖直固定在弹性簧片7的下表面的中心位置处，分光棱镜10固定在所述弹性簧片7的上表面的中心位置处，激光器9和直角棱镜5固定设置在下盖6的上端面上，弹性簧片7设置在下盖6的中空圆面处；所述激光器9和直角棱镜5分处在分光棱镜10的两侧，使所述激光器9水平发射的准直光投射至分光棱镜10，使分光棱镜10的反射光向上投射，分光棱镜10的透射光投射至直角棱镜5，并经所述直角棱镜5反射向上投射；感测单元，其包括固定设置在上盖1的下端面上的第一位置敏感探测器2和第二位置敏感探测器3，所述分光棱镜10中形成的反射光投射至第一位置敏感探测器2，直角棱镜5的反射光投射到第二位置敏感探测器3；利用第二位置敏感探测器3实现出射光热漂移测量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 合肥工业大学 一种具有热漂移在线补偿功能的接触式微纳米探头
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