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申请/专利权人:武汉大学
摘要:本申请提供了啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法,谐振器包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层,啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成,按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层,多个布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成,啁啾型布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关并沿着层叠方向呈线性变化。本申请提供的啁啾型衬底,通过将各布拉格反射层的厚度设计成线性相关,改善了谐振器目标频率声波反射率,增大衬底的吸收带宽和低频段增强折射率,在4GHz以上,使啁啾型布拉格反射层的反射能力具有频段集中性,有效抑制高频主模态旁的伪模态。
主权项:1.一种啁啾型衬底,其特征在于,包括由上至下依次设置的压电层、啁啾型布拉格反射层和衬底层,所述啁啾型布拉格反射层由多个布拉格反射层堆叠形成,按层叠方向由上至下包括顶层布拉格反射层、中间布拉格反射层、底层布拉格反射层以及中间层布拉格反射层和底层布拉格反射层之间的其他布拉格反射层,多个所述布拉格反射层均由上至下由低声阻抗布拉格反射层和高声阻抗布拉格反射层层叠设置而成,各布拉格反射层的厚度与啁啾型布拉格反射层的啁啾率相关,并沿着层叠方向呈线性变化。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 武汉大学 啁啾型衬底、谐振器、滤波器及制备方法
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