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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及阵列式柱检测器。根据本公开的一或多个实施例，公开一种电子束检验系统。所述检验系统可包含电子束源，其经配置以产生一或多个一次电子束。所述检验系统还可包含电子光学柱，其包含一组电子光学元件，所述电子光学元件经配置以将所述一或多个一次电子束引导到样品。所述检验系统可进一步包含检测组合件，所述检测组合件包括：闪烁体衬底，其经配置以收集从所述样品发出的电子，所述闪烁体衬底经配置以响应于所述所收集的电子而产生光辐射；一或多个光导；一或多个反射表面，其经配置以接收所述光辐射并沿所述一或多个光导引导所述光辐射；及一或多个检测器，其经配置以从所述光导接收所述光辐射。
主权项：1.一种电子束检验系统，其包括：电子束源，其经配置以产生多个一次电子束；电子光学柱，其包含一组电子光学元件，所述电子光学元件经配置以将所述多个一次电子束引导到样品；及检测组合件，其包括：闪烁体衬底，其经配置以收集响应于所述多个一次电子束而从所述样品发出的电子，所述闪烁体衬底经配置以响应于所述所收集的电子而产生光辐射；一或多个光导；一或多个反射表面，其经配置以接收由所述闪烁体衬底产生的所述光辐射并沿所述一或多个光导引导所述光辐射，其中所述一或多个光导的一或多个端部包含所述一或多个反射表面，所述一或多个反射表面经配置以相对于所述闪烁体衬底的表面成一定角度；及一或多个检测器，其经配置以从所述光导接收所述光辐射；其中所述样品及闪烁体衬底安置在真空室内，且其中所述一或多个检测器安置在所述真空室外部。
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