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申请/专利权人：天津洙诺科技有限公司
摘要：本申请提供了一种硅片研磨废液过滤设备，属于硅片加工废液处理技术领域。该硅片研磨废液过滤设备包括过滤组件和清理组件，废液倒入到罐体内部通过过滤筒可以对废液直接进行过滤，通过升降架使得电机和刮板向下移动直至刮板与过滤筒内部相接触，通过电机使得刮板转动，刮板转动可以避免杂质将过滤筒的滤孔堵住，保证研磨液正常流通，液体通过过滤筒流入到罐体的底部，而杂质留在过滤筒的表面，由于过滤筒通过弹性卡件与罐体滑动连接，采用卡接的连接方式方便将过滤筒从罐体内部抽出，可以将过滤筒内部的杂质进行清理，进而提高了过滤效果，防止废液中的杂质容易堵塞过滤筒的滤孔，提高了过滤效率，从而增加了实用性。
主权项：1.一种硅片研磨废液过滤设备，其特征在于，包括过滤组件100，所述过滤组件100包括罐体110、弹性卡件120和过滤筒130，所述弹性卡件120设置于所述罐体110一侧，所述过滤筒130通过所述弹性卡件120与所述罐体110滑动连接；清理组件200，所述清理组件200包括升降架210、电机220和刮板230，所述升降架210设置于所述罐体110一端，所述电机220设置于所述升降架210一侧，所述刮板230与所述电机220输出端固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天津洙诺科技有限公司 一种硅片研磨废液过滤设备
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