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倾斜检测装置及半导体X射线倾斜检测设备 

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申请/专利权人:无锡日联科技股份有限公司

摘要:本实用新型属于半导体检测设备技术领域,公开了一种倾斜检测装置及半导体X射线倾斜检测设备;该倾斜检测装置包括移动平台、旋转驱动件、倾斜组件和图像收集件;旋转驱动件设置于移动平台上,移动平台用于带动旋转驱动件进行移动;倾斜组件设置于旋转驱动件上,旋转驱动件用于驱动倾斜组件旋转;图像收集件弧形滑动设置于倾斜组件上,倾斜组件用于驱动图像收集件转动至预设倾斜位置,以接收X射线穿过待测件后的成像检测信号。该倾斜检测装置能够实现多种角度多种方向的检测,适用性较广,进而提高倾斜检测装置的可靠性和检测效率。

主权项:1.倾斜检测装置,其特征在于,包括移动平台10、旋转驱动件20、倾斜组件30和图像收集件40;所述旋转驱动件20设置于所述移动平台10上,所述移动平台10用于带动所述旋转驱动件20进行移动;所述倾斜组件30设置于所述旋转驱动件20上,所述旋转驱动件20用于驱动所述倾斜组件30旋转;所述图像收集件40弧形滑动设置于所述倾斜组件30上,所述倾斜组件30用于驱动所述图像收集件40转动至预设倾斜位置,以接收X射线穿过待测件后的成像检测信号。

全文数据:

权利要求:

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