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申请/专利权人：江苏雷博微电子设备有限公司

摘要：本发明属于盒站技术领域，具体涉及一种带扫片功能的盒站装置及其扫片方法，包括盒站板，所述盒站板的内部固定连接有晶圆突出检测器，所述盒站板的内部滑动连接有限位组件和两个片盒在位检测组件；片盒；定位钣金；扫片机构，用于对定位钣金和片盒同步扫描；限位机构，用于对片盒定位。本发明能够通过扫片机构对定位钣金和片盒同步扫描，获得晶圆发生叠片和斜片等信息，提高便捷性，通过更换不同规格的定位钣金能够适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性，通过限位机构在片盒放置于盒站板的过程中调整两个片盒在位检测组件和限位组件的位置，以适配不同尺寸规格的片盒，提高适用性。

主权项：1.一种带扫片功能的盒站装置，其特征在于：包括：盒站板（10），所述盒站板（10）的内部固定连接有晶圆突出检测器（11），所述盒站板（10）的内部滑动连接有限位组件（12）和两个片盒在位检测组件（13）且片盒在位检测组件（13）与限位组件（12）的滑动方向相互垂直；片盒（20），所述片盒（20）设置于盒站板（10）的顶部，所述片盒（20）的内部沿竖直方向开设有多个晶圆槽（201），所述晶圆槽（201）的内部设置有晶圆（21）；定位钣金（14），所述定位钣金（14）固定连接在盒站板（10）上，所述定位钣金（14）的内部沿竖直方向开设有多个晶圆定位槽（141），所述晶圆定位槽（141）的间距与晶圆槽（201）的间距相适配；扫片机构（30），所述扫片机构（30）沿竖直方向滑动安装在盒站板（10）上，用于对定位钣金（14）和片盒（20）同步扫描，所述扫片机构（30）包括滑板（301）、位置传感器（302）、扫片组件（303）和气缸（304），所述滑板（301）通过以滑轨可滑动安装在盒站板（10）上，所述位置传感器（302）设置于定位钣金（14）的外部，所述扫片组件（303）设置于片盒（20）的外部，所述位置传感器（302）和扫片组件（303）均与滑板（301）固定连接，所述气缸（304）固定连接在盒站板（10）上，所述气缸（304）的输出端与滑板（301）固定连接，且当所述气缸（304）动作时可驱动所述扫片组件（303）沿着片盒（20）上下移动；限位机构（40），所述限位机构（40）设置于盒站板（10）的底部，所述限位组件（12）和片盒在位检测组件（13）均与限位机构（40）固定连接，用于对片盒（20）定位；其中，所述片盒（20）置于盒站板（10）上后，使所述限位机构（40）调整两个片盒在位检测组件（13）的间距以及限位组件（12）与晶圆突出检测器（11）的间距从而对片盒（20）进行定位，所述扫片机构（30）动作后对晶圆（21）进行扫片并检测晶圆（21）是否出现叠片和斜片。

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