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申请/专利权人：西安中智科仪光电设备有限公司

摘要：本发明提供一种激光打孔的在线检测装置及方法。该激光打孔的在线检测装置包括：激光加工组件，用以发射加工激光脉冲；激光照明组件，用以发射照明激光脉冲并传送到工件，以照射工件的微孔，包括激光照明光源、扩束单元、第二分光单元、第一分光单元和物镜；门控成像组件，接收从工件反射回来的照明激光信号，获取工件微孔的图像信息，包括成像镜头、门控相机和图像处理单元；照明激光脉冲经由扩束单元、第二分光单元反射和第一分光单元反射后，由物镜汇聚于工件表面；工件反射回来的照明激光信号经过物镜、第一分光单元反射和第二分光单元透射后进入成像镜头，门控相机在设定的延迟时间开启快门，将图像信息传输至图像处理单元。

主权项：1.一种激光打孔的在线检测装置，其特征在于，包括：激光加工组件，用以发射加工激光脉冲，在工件上加工微孔；激光照明组件，用以发射照明激光脉冲，并传送照明激光脉冲到工件，以照射工件的微孔；所述激光照明组件包括激光照明光源、扩束单元、第二分光单元、第一分光单元和物镜；门控成像组件，选择性地接收从工件反射回来的照明激光信号，并根据该信号获取工件微孔的图像信息；所述门控成像组件包括成像镜头、门控相机和图像处理单元；其中，所述第一分光单元设置于所述激光加工组件前方，所述物镜设置于所述第一分光单元的前方，所述激光加工组件发射的加工激光脉冲从所述第一分光单元透射，所述物镜会聚从所述第一分光单元透射的加工激光脉冲于工件表面进行微孔加工；所述激光照明光源发射的照明激光脉冲经由所述扩束单元扩束后，经过所述第二分光单元反射和第一分光单元反射后，由所述物镜汇聚于工件表面；所述第二分光单元、所述成像镜头和所述门控相机依次设置组成共聚焦光路；所述工件反射回来的照明激光信号经过所述物镜后，经由所述第一分光单元反射和所述第二分光单元透射后进入所述成像镜头，所述门控相机接收反射回来的照明激光信号，在设定的延迟时间控制门控相机快门开启，将图像信息传输至图像处理单元，图像处理单元显示拍摄到的工件微孔图像；所述门控相机包括成像模块、门控模块、增益模块和时序控制模块；所述门控相机连接所述激光照明光源；所述成像模块获取所述工件反射回来的照明激光信号聚焦形成的图像；所述门控模块控制快门的启闭；所述增益模块用于所述工件反射回来的照明激光信号的增益放大；所述成像模块包括图像传感器，接收到拍摄信号后，所述图像传感器开始曝光并发送曝光信号，所述时序控制模块给所述激光照明光源发送同步触发信号和所述门控模块发送门控脉冲信号，在设定的延迟时间后，所述门控模块控制快门开门，使得快门开门信号与所述工件反射回来的照明激光信号同步。

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