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一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统及其调控方法 

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申请/专利权人:东北大学

摘要:本发明涉及真空泵测试技术领域,具体涉及一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统及其调控方法,包括泵本体、转子组件、温度测量系统、加热系统、冷却系统和电控系统。温度测量系统包括无线测温片,无线测温片测量转子组件的温度,并将温度的信号发送至电控系统内。加热系统设置于泵本体的进气口。转子组件的转子轴的内腔与冷却冷却系统相连通。冷却系统与电控系统电连接。通过增加了冷却系统,且冷却系统与空心结构的转子轴连通,进而能够更多的带走的热量。同时还设置加热系统,对进入泵本体内的介质进行加热处理,且加热系统和冷却系统均与电控系统相连,通过电控系统能够对转子组件进行温度的处理,达到精确控制罗茨泵腔体内部温度的效果。

主权项:1.一种罗茨真空泵的转子温度的调控系统,包括中心具有泵腔11的泵本体1、设置于所述泵腔11内的转子组件2,通过所述转子组件2的转动以使所述泵本体1呈负压,进而进行介质的运输,其特征在于:还包括温度测量系统3、加热系统4、冷却系统5和电控系统6;所述温度测量系统3包括设置于所述转子组件2上的无线测温片31,所述无线测温片31能够测量所述转子组件2的温度作为第一温度,并将所述第一温度的信号发送至所述电控系统6内;所述加热系统4设置于所述泵本体1的进气口12,且所述加热系统4与所述电控系统6电连接,其能够接收所述电控系统6的指令并启动关闭所述加热系统4,以加热从所述进气口12进入的介质;所述转子组件2的转子轴为沿其轴向中空的管状结构件,所述冷却系统5设置于所述泵本体1的外部,且所述冷却系统5与所述转子轴的两端部相连通,所述转子轴能够流通冷却液,且所述转子轴相对于所述冷却系统5转动,所述冷却系统5与所述电控系统6电连接,其能够接收所述电控系统6的指令并启动关闭对所述转子组件2的冷却。

全文数据:

权利要求:

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