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一种金属网栅薄膜反射率的计算方法、装置、设备、存储介质和程序产品 

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申请/专利权人:天津津航技术物理研究所

摘要:本申请公开了一种金属网栅薄膜反射率的计算方法、装置、设备、存储介质和程序产品,涉及光学薄膜技术领域,该方法包括:获取金属线区域的第一面积、金属线区域的第一反射率、透光区域的第二面积和透光区域的第二反射率;根据第一反射率计算金属线区域的第一零级反射衍射的反射率,根据第二反射率计算透光区域的第二零级反射衍射的反射率;通过第一面积、第二面积、第一零级反射衍射的反射率和第二零级反射衍射的反射率计算金属网栅薄膜反射率。该方法能够正确计算出具有一定结构的金属网栅薄膜的反射率。

主权项:1.一种金属网栅薄膜反射率的计算方法,其特征在于,所述金属网栅薄膜由平面内排列的周期图形构成,每个所述周期图形包括金属线区域和透光区域,所述方法包括:获取所述金属线区域的第一面积、所述金属线区域的第一反射率、所述透光区域的第二面积和所述透光区域的第二反射率;根据所述第一反射率计算所述金属线区域的第一零级反射衍射的反射率,根据所述第二反射率计算所述透光区域的第二零级反射衍射的反射率;通过以下公式计算所述金属网栅薄膜反射率: 其中,Rmesh为金属网栅薄膜反射率;S1为金属线区域的面积;S2为透光区域的面积;R10为金属线区域零级反射衍射的反射率;R20为透光区域零级反射衍射的反射率。

全文数据:

权利要求:

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