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球状结晶质二氧化硅颗粒及其制造方法 

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申请/专利权人:日铁化学材料株式会社

摘要:提供作为在毫米波频带中具有优秀的介电特性的半导体密封材料用的填充物用途而适用的球状二氧化硅颗粒,即提供将碱金属和碱土金属的含量抑制得较低的同时,结晶化率高且石英的比例高的球状结晶质二氧化硅颗粒及其制造方法。一种球状结晶质二氧化硅颗粒:其圆形度在0.80以上;含有按氧化物换算0.02质量%以上且不足0.40质量%的锂,含有按氧化物换算0.004质量%以上且不足1.0质量%的钙;含有结晶质二氧化硅的相;该球状结晶质二氧化硅颗粒中所述结晶质二氧化硅的相的比例为40.0%以上,且所述结晶质二氧化硅的相中石英的比例为80.0质量%以上。

主权项:1.一种球状结晶质二氧化硅颗粒,其圆形度在0.80以上,按氧化物换算含有0.02质量%以上且不足0.40质量%的锂,按氧化物换算含有0.004质量%以上且不足1.0质量%的钙,并且含有结晶质二氧化硅的相,其中,该球状结晶质二氧化硅颗粒中所述结晶质二氧化硅的相的比例为40.0%以上,且所述结晶质二氧化硅的相中石英所占的比例为80.0质量%以上。

全文数据:

权利要求:

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