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申请/专利权人：杭州中欣晶圆半导体股份有限公司

摘要：本发明公开了一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法，包括底座，所述底座的上端设置有卡盘，所述底座的内腔设置有齿盘，所述齿盘的外侧通过传动机构设置有导向块，所述导向块的上端传动连接有滑动板，所述滑动板的上端设置有夹持块，所述底座的底端设置有连接件，所述滑动板的内部设置有夹持机构；本发明涉及卡盘技术领域。该一种新型DSP卡盘装置及其装配、检测方法，通过设置的夹持机构，使得夹持板对芯片进行更加精确的夹持定位处理，同时第一弹簧与第二弹簧对运动过程中的夹持板进行缓冲减震处理，防止夹持板夹持力度过大，导致芯片出现碎裂而损坏芯片；通过设置的连接轴、夹持板与螺钉，便于更换不同规格的夹持板，增强装置的实用性。

主权项：1.一种DSP卡盘装置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）的上端设置有卡盘（2），所述底座（1）的内腔设置有齿盘（3），所述齿盘（3）的外侧通过传动机构设置有导向块（4），所述导向块（4）的上端传动连接有滑动板（5），所述滑动板（5）的上端设置有夹持块（6），所述底座（1）的底端设置有连接件（7），所述滑动板（5）的内部设置有夹持机构（8）；所述传动机构包括在导向块（4）的内侧表面固定连接的齿条（401），所述齿条（401）与齿盘（3）的外侧端相互啮合，所述导向块（4）的顶部开设有滑槽（402），所述滑动板（5）的底端固定连接有滑块（501），所述滑块（501）位于滑槽（402）内与导向块（4）滑动连接；所述夹持机构（8）包括在滑动板（5）内部开设的导向槽（801），所述导向槽（801）的一端内壁固定连接有定位柱（802），所述定位柱（802）的外壁上滑动连接有卡接柱（803），所述定位柱（802）与卡接柱（803）的连接处设置有缓冲槽（804），所述缓冲槽（804）内固定连接有第一弹簧（805），且第一弹簧（805）套接在定位柱（802）的外表面，所述定位柱（802）的另一端开设有抵制槽（806），所述抵制槽（806）内固定连接有第二弹簧（807），所述第二弹簧（807）的另一端固定连接有推动块（808），且推动块（808）的直径与抵制槽（806）的直径大小相互适配，所述推动块（808）的上下两端设置有滑动面，且滑动面由高到底，所述推动块（808）的滑动面上滑动连接有限位块（809），所述限位块（809）的一端与定位柱（802）的一端相互抵触，所述推动块（808）的上下端固定设置有定位块（810），且定位块（810）的一端与导向槽（801）内壁固定连接，所述定位块（810）的另一端与限位块（809）的另一端滑动连接，所述推动块（808）的另一端固定连接有螺纹杆（811），所述螺纹杆（811）位于滑动板（5）内腔且与滑动板（5）螺纹连接，所述螺纹杆（811）的另一端贯穿滑动板（5）并固定安装有调节头，所述卡接柱（803）的外壁设置有卡接块（812），且通过卡接块（812）与夹持块（6）的底端卡接固定。

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