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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本申请提供了一种机台设备的测试方法及装置，包括：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试，以解决目前厂商无法模拟设备自动化控制系统进行自动化生产测试的问题。
主权项：1.一种机台设备的测试方法，其特征在于，包括：加载第一配置文件，所述第一配置文件存储有机台设备的触发事件CEID与机台设备的生产工艺数据SVID的第一关联关系；加载第二配置文件，所述第二配置文件用于对所述机台设备的生产工艺数据进行加载；判断与所述机台设备是否连接，若判断结果为是，则使用所述第一配置文件对所述机台设备进行初始化；待所述机台设备初始化完成后，按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试；所述按照预设的生产时序，使用所述第一配置文件和所述第二配置文件对预设的所述机台设备的生产流程进行测试的步骤包括：调用所述第一配置文件中的所述机台设备的不同触发事件与不同所述生产工艺数据的第一关联关系，使所述机台设备根据不同触发事件对应的不同生产工艺数据进行测试；调用所述第二配置文件中的获取工艺配方指令，根据所述工艺配方指令获取所述机台设备的待检测的生产配方信息。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 一种机台设备的测试方法及装置
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