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申请/专利权人：西安奕斯伟材料科技股份有限公司
摘要：本公开提供了一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质；该方法可以包括：根据待测晶圆的中性面的法向与期望的单晶生长方向的夹角获取第一修正值；根据所述待测晶圆绕中心旋转180°前、后的X射线衍射角获取第二修正值；根据所述待测晶圆表面入射X射线的测量点位置以及拟合函数获取第三修正值；其中，所述拟合函数用于描述测量点位置与系统误差之间的关系；将所述待测晶圆正面的X射线衍射角以及所述第一修正值、第二修正值和第三修正值获取所述待测晶圆表面校正后的衍射角；基于所述校正后的衍射角以及所述X射线的波长，获得所述待测晶圆的晶格常数。
主权项：1.一种晶圆的晶格常数的获取方法，其特征在于，所述获取方法包括：根据待测晶圆的中性面的法向与期望的单晶生长方向的夹角获取第一修正值；根据所述待测晶圆绕中心旋转180°前、后的X射线衍射角获取第二修正值；根据所述待测晶圆表面入射X射线的测量点位置以及拟合函数获取第三修正值；其中，所述拟合函数用于描述测量点位置与系统误差之间的关系；将所述待测晶圆正面的X射线衍射角以及所述第一修正值、第二修正值和第三修正值获取所述待测晶圆表面校正后的衍射角；基于所述校正后的衍射角以及所述X射线的波长，获得所述待测晶圆的晶格常数。
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百度查询： 西安奕斯伟材料科技股份有限公司 一种晶圆的晶格常数的获取方法、装置、设备及介质
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