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申请/专利权人：郑州大学
摘要：本发明公开了一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法，包括以下步骤：将溅射剩余的ITO废靶进行表面超声清洗，将清洗干净后的废ITO靶材进行纳米化处理，第一步：用鄂式破碎机将块状的ITO废靶粉碎成毫米级小颗粒；第二步:用超微气流磨将小颗粒的ITO废靶进一步粉碎成亚微米级颗粒；第三步：用砂磨机将微米级粉末与一定质量的水，分散剂，混合为固含量为50‑75％的浆料后进一步细化成纳米级颗粒。将第三步后的浆料经过烘干的粉末与设定比例的水，分散剂，粘结剂混合，得到固含量大于80％的ITO浆料，经过压力注浆得到ITO素坯，在经过干燥处理、脱脂和烧结处理得到平均晶粒尺寸为2‑10μm，相对密度大于99.5％，电阻率小于0.15mΩ·cm的ITO溅射靶材。
主权项：1.一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法及装置，其特征在于：该制备方法包括：S1：将废靶进行预处理，得到预处理ITO废靶；S2：将预处理ITO废靶进行三次粉碎行为，第一步：用鄂式破碎机将块状的ITO废靶粉碎成小颗粒；第二步:用超细气流磨将ITO废靶颗粒进一步粉碎成亚微米级颗粒；第三步：用砂磨机将微米级粉末与一定质量的水，分散剂，混合为固含量为50-75％的浆料后进一步细化成纳米级100-500nm颗粒；S3：将第三步后的浆料经过烘干的粉末与设定比例的水，分散剂，粘结剂混合，得到固含量大于80％的ITO浆料；S4：经过压力注浆得到ITO素坯，再经过干燥、脱脂和烧结工艺后得到高致密细晶粒的ITO靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学 一种联合破碎ITO废靶回收利用的方法及装置
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